应用于KrF 激光器。要求反射率、吸收和散射损耗尽量小,同时要求阈值尽可能高.
59°1064nm增透膜:
常用于激光器的谐振腔。要求偏振分量的透过率和阈值都尽可能高。
多波长及宽带增透膜代表性产品示例
355nm 532nm 1064nm三波段增透:
应用于 Nd:YAG 激光器系统。要求反射率、吸收和散射损耗尽量小,阈值尽可能高。
工作波长(nm) |
工作角度 |
尺寸 (mm) |
透过率 |
光洁度 (美军标) |
透射面形 (λ =632.8nm) |
阈值 (J/cm2,3ns) |
248 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/10 |
>1 |
|
θ±10° |
Φ25.4 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/10 |
>1 |
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/8 |
>1 |
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.50% |
40-20 |
PV<1/5 |
>1 |
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.50% |
60-40 |
PV<1/4 |
>1 |
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.50% |
60-40 |
PV<1/3 |
>1 |
266 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/10 |
>1 |
|
θ±10° |
Φ25.4 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/10 |
>1 |
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/8 |
>1 |
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.50% |
40-20 |
PV<1/5 |
>1 |
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.50% |
60-40 |
PV<1/4 |
>1 |
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.50% |
60-40 |
PV<1/3 |
>1 |
355 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.70% |
10-5 |
PV<1/10 |
>6 |
|
θ±10° |
Φ25.4 |
T>99.70% |
10-5 |
PV<1/10 |
>6 |
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.70% |
10-5 |
PV<1/8 |
>6 |
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.70% |
40-20 |
PV<1/5 |
>5 |
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.70% |
60-40 |
PV<1/4 |
>5 |
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.70% |
60-40 |
PV<1/3 |
>5 |
532 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.70% |
10-5 |
PV<1/10 |
>8 |
|
θ±10° |
Φ25.4 |
T>99.70% |
10-5 |
PV<1/10 |
>8 |
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.70% |
10-5 |
PV<1/8 |
>8 |
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.70% |
40-20 |
PV<1/5 |
>7 |
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.70% |
60-40 |
PV<1/4 |
>7 |
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.70% |
60-40 |
PV<1/3 |
>7 |
800 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.80% |
10-5 |
PV<1/10 |
>16 |
|
θ±10° |
Φ25.4 |
T>99.80% |
10-5 |
PV<1/10 |
>16 |
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.80% |
10-5 |
PV<1/8 |
>16 |
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.80% |
40-20 |
PV<1/5 |
>15 |
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.80% |
60-40 |
PV<1/4 |
>15 |
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.80% |
60-40 |
PV<1/3 |
>15 |
1064 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/10 |
>30 |
|
θ±10° |
Φ25.4 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/10 |
>30 |
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/8 |
>30 |
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.90% |
40-20 |
PV<1/5 |
>28 |
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.90% |
60-40 |
PV<1/4 |
>28 |
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.90% |
60-40 |
PV<1/3 |
>27 |
1319 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/10 |
- |
|
θ±10° |
Φ25.4 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/10 |
- |
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/8 |
- |
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.90% |
40-20 |
PV<1/5 |
- |
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.90% |
60-40 |
PV<1/4 |
- |
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.90% |
60-40 |
PV<1/3 |
- |
2090 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/10 |
- |
|
θ±10° |
Φ25.4 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/10 |
- |
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/8 |
- |
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.90% |
40-20 |
PV<1/5 |
- |
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.90% |
60-40 |
PV<1/4 |
- |
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.90% |
60-40 |
PV<1/3 |
- |
2940 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/10 |
- |
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/8 |
- |
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.90% |
40-20 |
PV<1/5 |
- |
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.90% |
60-40 |
PV<1/4 |
- |
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.90% |
60-40 |
PV<1/3 |
- |
备注:
1.- 表示暂时无数据。
2.实际镀膜后的面形与镀前裸基板的数据相关。
3.透过率数据与使用角度和带宽相关:入射角度越大,使用角度范围越宽,目标带宽越大,增透膜所能达到的透过率降低。
典型产品示例
工作波长(nm) |
工作角度 |
尺寸 (mm) |
透过率 |
光洁度 (美军标) |
面形 (λ =632.8nm) |
阈值 |
225-280 |
θ±1 0° |
Φ12. 7 |
T>99.00% |
10-5 |
PV<1/1 0 |
>1J/cm2 @248nm,3ns |
θ±1 0° |
Φ25. 4 |
T>99.00% |
10-5 |
PV<1/1 0 |
||
θ±1 0° |
Φ50. 8 |
T>99.00% |
10-5 |
PV<1/8 |
||
θ±1 0° |
Φ300 |
T>99.00% |
40-20 |
PV<1/4 |
||
θ±1 0° |
Φ600 |
T>99.00% |
60-40 |
PV<1/3 |
||
θ±1 0° |
Φ900 |
T>99.00% |
60-40 |
PV<1/3 |
||
355&532 |
θ±1 0° |
Φ12. 7 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/1 0 |
>8J/cm2 @ 532nm,3ns |
θ±1 0° |
Φ25. 4 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/1 0 |
||
θ±1 0° |
Φ50. 8 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/8 |
||
θ±1 0° |
Φ300 |
T>99.50% |
40-20 |
PV<1/4 |
||
θ±1 0° |
Φ600 |
T>99.50% |
60-40 |
PV<1/3 |
||
θ±10 ° |
Φ900 |
T>99.50% |
60-40 |
PV<1/3 |
||
800&1064 |
θ±1 0° |
Φ12. 7 |
T>99.80% |
10-5 |
PV<1/1 0 |
>29J/cm2 @ 1064nm,3ns |
θ±1 0° |
Φ25. 4 |
T>99.80% |
10-5 |
PV<1/1 0 |
||
θ±1 0° |
Φ50. 8 |
T>99.80% |
10-5 |
PV<1/8 |
||
θ±1 0° |
Φ300 |
T>99.80% |
40-20 |
PV<1/4 |
||
θ±1 0° |
Φ600 |
T>99.80% |
60-40 |
PV<1/3 |
||
θ±1 0° |
Φ900 |
T>99.80% |
60-40 |
PV<1/3 |
||
355&532 &1064 |
θ±1 0° |
Φ12. 7 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/1 0 |
>29J/cm2 @ 1064nm,3ns |
θ±1 0° |
Φ25. 4 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/1 0 |
||
θ±1 0° |
Φ50. 8 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/8 |
||
θ±1 0° |
Φ300 |
T>99.50% |
40-20 |
PV<1/4 |
||
θ±1 0° |
Φ600 |
T>99.50% |
60-40 |
PV<1/3 |
||
θ±1 0° |
Φ900 |
T>99.50% |
60-40 |
PV<1/3 |
||
380-800 |
θ±1 0° |
Φ12. 7 |
Tave>99.50 % |
10-5 |
PV<1/1 0 |
>8J/cm2 @ 532nm,3ns |
θ±1 0° |
Φ25. 4 |
Tave>99.50 % |
10-5 |
PV<1/1 0 |
||
θ±1 0° |
Φ50. 8 |
Tave>99.50 % |
10-5 |
PV<1/8 |
||
θ±1 0° |
Φ300 |
Tave>99.50 % |
40-20 |
PV<1/4 |
||
θ±1 0° |
Φ600 |
Tave>99.50 % |
60-40 |
PV<1/3 |
||
θ±1 0° |
Φ900 |
Tave>99.50 % |
60-40 |
PV<1/3 |
||
1900~2200 |
θ±1 0° |
Φ12. 7 |
Tave>99.70 % |
10-5 |
PV<1/1 0 |
平均功率>500 KW/ cm2,峰值功率密度>200 MW/cm2, 2100nm
|
θ±1 0° |
Φ25. 4 |
Tave>99.70 % |
10-5 |
PV<1/1 0 |
||
θ±1 0° |
Φ50. 8 |
Tave>99.70 % |
10-5 |
PV<1/8 |
||
θ±1 0° |
Φ300 |
Tave>99.70 % |
40-20 |
PV<1/4 |
||
θ±1 0° |
Φ600 |
Tave>99.70 % |
60-40 |
PV<1/3 |
||
θ±1 0° |
Φ900 |
Tave>99.70 % |
60-40 |
PV<1/3 |
备注:
1.实际镀膜后的面形与镀前裸基板的数据相关。
2.透过率数据与使用角度和带宽相关:入射角度越大,使用角度范围越宽,目标带宽越大,增透膜所能达到的透过率降低。